




由于真空系统的多样性,检漏方法也各式各样,厂家也设计制造了许多专门用于检漏的仪器(真空检漏仪)。选择真空检漏仪检漏方法的原则主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1-2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11w,而必须选用的检漏仪灵敏度为10-12∽10-13W;。
一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及***性,在应用中较少使用,气密性检漏设备,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。氦气检漏仪关键零部件集优采购,保证了系统的稳定性和可靠性;真空箱内氦气本底抑零,保证了检漏的准确性、;检漏仪的特点:检测时间和周期非常短,可以达到5s以内;检测的介质比较常用,仅需压缩空气即可;。
氦气检漏仪可对使用过程中产生的浓度不合格氦气进行提纯,极大降低氦气损耗(功能可选);质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍,该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间,即为两次喷氦的较小间隔时间,当然真空系统越庞大,该间隔时间也越长。
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