气体捕集泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上,从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有四种类型:吸附泵,吸气剂泵,吸气剂离子泵,低温泵。常用国产真空泵的汉语拼音代号及名称W 往复真空泵 Z 油扩散喷射泵(油增压泵)D 定片真空泵 S 升华泵X 旋片真空泵 LF 复合式离子泵,H 滑阀真空泵 GL 锆铝吸气剂泵ZJ 罗茨真空泵(机械增压泵) DZ 制冷机低温泵YZ 余摆线真空泵 DG 灌注式低温泵L 溅射离子泵 IF 分子筛吸附泵XD 单级多旋片式真空泵 SZ 水环泵
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要,有时将各种真空泵按其性能要求组合起来,以机组型式应用。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中不可少的主力泵种。近年来, 伴随着我国经济持续高速发展,真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头,同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下,我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
高真空系滑阀式真空泵(Rotary Piston Vacuum Pump)广泛应用于真空拉晶、真空镀膜、真空冶金、真空热处理、真空浸渍、真空干燥、真空蒸馏、真空练泥、航空航天模拟试验等新材料、新技术、新工艺的生产与研制中。滑阀真空泵可单独使用,也可作为罗茨真空泵、油增压泵、油扩散泵的前级泵的使用。当抽吸对黑色金属有腐蚀、对真空油起化学反应、含大量蒸汽、大量粉尘的气体时,需附加装置。优点:相比旋片式真空泵耐用性要高好几倍且抽气速率大,价格相对高一点。