气体分离设备的发展，是从1903年德国制成台商品制氧机开始的，随后又出现了其他原料气的分离设备。1921年，美国建立家商业性回收氦并液化***的工厂。这些原料气组分多变、不稳定（特别是在低温带压力下），物性计算复杂，给设计带来困难，故很长时期都是当作燃料烧掉。
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氢气回收装置主要技术：
大型回收装置干燥器内部采用二次分配结构，
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回收压力可以根据产品加工的品种自动调整操作压力。
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