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在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着至关重要的作用。适用产品:真空机组、罗茨真空泵系列、滑阀真空泵系列、旋片真空泵系列等。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种:其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动,这样主动转子轴的扭转变形小,则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变,故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的大缺点是:a.主动轴上有三个轴承,增加了泵的加工和装配难度,齿轮的拆装及调整也不便;b.整体结构不匀称,泵的偏向电动机和齿轮箱一侧。
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如果要求处理大量水蒸汽的真空系统中,使用水环泵是比较合适的,但是因为其极限真空度不高,而导致整个机组的极限真空度较低(这个只是相对而言)。虽然在要求真空度较高的抽真空系统中,旋片真空泵,需要极限真空较高的机械真空泵作为前级泵使用。可以把气镇机械真空泵与水环泵并联,莆田真空泵,作为泵的前级泵。真空干燥时,先用水环泵进行预抽,直到它的水蒸汽大量减少时,再开动气镇机械真空泵,切断水环泵。如果需要较长时间才能完成干燥的场合,所需冷却水和功率都比较少。
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