一台泵与一台水环泵的极限压力是400Pa，这可以满足一般的真空需求，贝克真空泵，但它使用的范围会受到一定的限制，如果用两台罗茨泵串联再与水环泵组合，就可以大大提高机组的极限压力（可以达到25Pa）。因此在这种类型里通常见到的是两台罗茨泵串联后再用双级泵作前级泵组成机组。如果需要更高的极限压力，可以使用三台罗茨泵与水环泵组合，它的极限压力可以达到1Pa。
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真空泵在运转过程中，系统内水分及冷气体会排入泵油中，油及水会形成乳浊液，不仅影响泵油运用寿命也使极限压力变坏。尤其对，食品，陶瓷等工业应用真空干燥过程中，泵油抗乳化性能更到关显要。抗乳化性好泵油油水分离能力强，水蒸汽与冷凝气体通过开气镇阀，会排出部分水蒸汽。另外，低粘度泵油抗乳化能力比高粘度油要好。加剂泵油比不加剂泵油效果更为明显。
旋片真空机组是以泵为主泵，双级旋片真空泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵，因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
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