正确地组合真空泵，由于真空泵有选择性地抽气，因而有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助设备。
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运转中真空系统内气体会通过密封真空泵油层不断排出，真空泵，排出气体会在油层表面产生大量气泡，并从泵排气孔中溢出，造成油品损失与设备污染。加防抗泡剂泵油，在抗泡效果上有明显提高。天然矿物油均有其不可避免漏洞，液环真空泵，耐热化性能要比合成油差，泵油成份随热氧化分解极易劣化，无油螺杆真空泵，极限压力稳定性差，抽速也随运用时间下降。但加剂氧化安定性较纯矿物油有明显提升，普通纯矿物油氧化试验法d943为几百小时左右，而加剂d943可增加到1500小时对上。可见其运用寿命得到增加。
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可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，密封面太大时压不紧会漏油。
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