兴之扬蚀刻不锈钢网片小编来向大家说说电浆干法蚀刻制程参数：
电浆蚀刻制程参数一般包括了射频(RF)功率、压力、气体种类及流量、蚀刻温度及腔体的设计等因素，而这些因素的综合结果将直接影响蚀刻的结果。
射频(RF)功率是用来产生电浆及提供离子能量的来源，因此功率的改变将影响电浆中离子的密度及撞击能量而改变蚀刻的结果。压力也会影响离子的密度及撞击能量，另外也会改变化学聚合的能力；蚀刻反应物滞留在腔体内的时间正比于压力的大小，一般说来，延长反应物滞留的时间将会提高化学蚀刻的机率并且提高聚合速率。气体流量的大小会影响反应物滞留在腔体内的时间；增加气体流量将加速气体的分布并可提供更多未反应的蚀刻反应物，因此可降低负载效应(LoadingEffect)；改变气体流量也会影响蚀刻速率。原则上温度会影响化学反速率及反应物的吸附系数(AdsorptionCoefficient)，提高芯片温度将使得聚合物的沉积速率降低，导致侧壁的保护减低，但表面在蚀刻后会较为干净；增加腔体的温度可减少聚合物沉积于管壁的机率，以提升蚀刻制程的再现性。晶圆背部氦气循环流动可控制蚀刻时晶圆的温度与温度的均匀性，以避免光阻烧焦或蚀刻轮廓变形。其它尚须考虑的因素还有腔体的材质，一般常见的材质包含铝、陶瓷、石英、硅及石墨等，不同的腔体材质会产生不同的反应产物并会改变蚀刻的直流偏压。
选用何种蚀刻不锈钢？
不锈钢有两百多种，仅有部门品种可以用在海水淡化工程。海水淡化工程所用的不锈钢要求其在各种复杂环境下的良好耐侵蚀性。奥氏体不锈钢316L和317是制造海水淡化设备主要的材料。316L可以经受住海洋环境下的侵蚀，但是长期浸在海水中会泛起点蚀和缝隙侵蚀。
在处理热浓缩海水的海水淡化设备中使用的不锈钢，其在含氯离子环境下的点蚀长短常值得留意的。尽管热海水缺氧降低了点侵蚀的趋势，且316L不锈钢是蒸发器的传统材料，但是大多现代多级闪蒸海水淡化装置（MSF）不使用316L不锈钢，而大多海水淡化设备出产商开始采用双相不锈钢作为替换材料。
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杂质含量太高；三氯化铁质量差；活化不良；添加剂含量不足；氯离子浓度太高；磷酸离子浓度低；材料晶粒粗大；解决方法：加强活化过程；定期补加添加剂；添加磷酸；更换溶液；更换材料；
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