PFA花篮 / IC专用盒 / 包装盒 / 承载器 / 晶舟盒 / 晶圆载具
应用实验：半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。
PFA花篮的性能优势：
1.耐强酸、强碱和各种***
2.金属元素空白值低
3.无溶出和析出
4.耐候性佳、不易应力变形
5.耐磨、抗静电性
6.有优良的化学稳定性
花篮尺寸 | 长x宽x高 | 容量 | 槽间距 | 适 用 晶 圆 |
50mm(2英寸)(有豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圆 |
50mm(2英寸)(无豆) | 142.1(L)x67.8(W)x59.0(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2 inch (Ø50mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圆 |
2.5英寸 | 142(L)x79(W)x73(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 2.5 inch 晶圆 |
75mm(3英寸) | 142.49(L)x94.36(W)x82.53(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 3 inch (Ø75mm) 晶圆 |
100mm(4英寸) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圆 |
100mm(4英寸)(镂空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4 inch (Ø100mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圆 |
104mm(4.125英寸)(镂空版) | 142.24(L)x125.48(W)x114.3(H)mm | 25PCS | 4.76mm | 4.125″ inch(Ø104mm) 厚度0.5mm~0.7mm晶圆 |
125mm(5英寸) | 152.4(L)x142.88(W)x146.05(H)mm |
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