




半导体、集成电路生产的无尘车间要求半导体材料提纯作为发展半导体器件的重要基础。由于大规模和超大规模集成电路的工艺要求,为得到高纯度的硅材料,原料和中间媒介的高纯度和生产环境的洁净度成为影响产品质量的一个突出问题。集成电路芯片的成品率与芯片的缺陷密度有关,而芯片的缺陷密度与空气中粒子个数有关。因此,集成电路的高速发展,不仅对空气中控制粒子的尺寸有极高的要求,而且也需进一步控制粒子数;同时,对于超大规模集成电路生产环境的化学污染控制也有相关的要求。

此外,高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体,例如SiH4、H2、PH3等,更增加厂房内的潜在***,若无适当的对策与措施,因此,为了降低火灾发生时人员的***与财物的损失,必须对建筑物进行烟流控制,这一点新加坡已强制规定执行,而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制***,十万级洁净室,其目的都是在降低火灾发生时,高温烟流对员工及设备污染的伤害。

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