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若抽入其他挥发性气体或液体,要及时换油,必要时请洗油箱。有些泵,在级间气道里会沉积泵液,为取得好的换油效果,要设法把沉积泵液排出。极限压力是用座式压缩式真空计测量的。用经校准的热偶真空计等全压力计测量时,磁悬浮分子泵,测得值会增加。注意热偶真空计的规管要配对校准。建议备用一只同时校准的规管,以备怀疑规管污染失真时进行对比。
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喷油。防止喷油用的油盒回油孔的大小、位置、密封状况,挡油板的设计、安装,排气口部分的减雾器、挡油帽、油气分离器,油位的高低,进油量的大小,都会影响泵的喷油,泵口敞开油大气时,直联泵排气口的气流速度可以高达30M/S,吹开油面时,泵内的循环油和气流带出的油就将考验防止喷油的各项措施。
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可由密封件老化,安装不当,损坏失效,表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油,油会进入气镇阀,不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时,一定要用耐油橡胶,要按照原设计形状,密封面太大时压不紧会漏油。
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