合肥洁净室工程-安徽腾义|效率快(图)

洁净室属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或可靠度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。

洁净室风机外壳的选择由于洁净室工程的厂房按照不同的使用要求，会有不同的级别要求，如10级、100级、10000级等，这就使得洁净室工程存在不易克服的问题，而风机过滤器单元(简称FFU)的出现相对解决了这些问题。在选择FFU风机外壳结构的时候，不但要考虑避免风机泄漏和消除运输与搬运期间带来的损坏，而且还要考虑能用***消毒，以及FFU使用的环境，因此***好选用不锈钢或铝合金的材料作外壳。

洁净室使用FFU的注意事项利用FFU解决洁净室存在的问题，利用FFU可以节省空间，解决洁净室吊顶顶端维修空间狭小的问题。由于高1级别的洁净室(如百级间)需要百级甚至十级层流罩用以解决工艺需求，洁净室工程，洁净室吊顶上部将设立一个个巨大的送风静压箱，静压箱内设立通风机，这些静压箱连同送风管、回风管占据了很大的空间，使得维修空间变的狭小，有时甚至影响消防通道的使用。