真空热处理不仅是某些特殊合金热处理的必要手段，而且在一般工程用钢的热处理中也获得应用，特别是工具、模具和精密耦件等。众所周知零件经真空热处理后，氮化热处理质量好，畸变小，质量高，且工艺本身操作灵活，无公害。
经真空热处理后使用寿命较一般热处理有较大的提高。例如某些模具经真空热处理后，石龙氮化热处理质量好，其寿命比原来盐浴处理的高40~400%，而有许多工具的寿命可提高3~4倍左右。
齿轮材料冶金因素对变形的影响试验表明，钢的淬透性越高，变形越大。当心部硬度高于40HRC时，变形会明显增大。因此，对钢的淬透性带有一定的要求，淬透性带越窄，大朗氮化热处理质量好，则变形越稳定，要钢厂提供“低、稳变形”钢材。A1/N含量比控制在1～2.5范围内，可使淬透性带变窄、减小变形。另外，材料的方框偏析及带状***影响齿轮花键孔的不均匀变形及渗碳不均匀。
机械加工方面配合：一，石排氮化热处理质量好，掌握热处理变形规律、移动公差带位置，提高产品合格率。二，根据变形规律、施用反变形、收缩端预胀孔，提高淬火后变形合格率。三，对非对称或厚度不均匀零件采用预留加工量的方法，热处理后再加工。第四，热处理后用推刀精整花键孔，或电解加工精磨花键孔，或渗碳后再加热套芯棒淬火，后压出芯棒，保证花键孔尺寸等手段减小变形。
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