




净化工程要求施工:在铺设塑料片或线圈表面之前,应根据尺寸和厚度对其进行预分类。片材或线圈应在表面涂有粘合剂。表面应该是水平的,不应泄漏或留下。施工现场应确保良好的通风和照明。对于改造工程,应对原有的电源和易1燃,易1爆有气体管道进行识别和建设,并对过程中使用的腐蚀性液体进行安全保护措施临时安装在净化工程中的设备应在不使用时关闭,以防止灰尘和碎屑进入净化工程。
喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题,十万级净化车间,并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中,而其中有一部分变成凝结水排放出来。光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、***空气、***等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。净化工程所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。
在净化工程的施工过程中,有必要随时清理房间内的灰尘,并清楚地记录天花板和墙壁内部等隐蔽空间。洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为洁净室。当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时好不采用。而采用喷干蒸汽和电热(电极)式加湿的方法。
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