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电容含浸工艺液环式真空泵与油旋片式真空泵及滑阀式真空泵应用介绍
电容含浸工艺真空泵基本上多数用油旋片式真空泵，还有滑阀式真空泵。油式真空泵的维修及换油成本太高，主要是由于在含浸过程中，吸气会有一些水汽及含浸液挥发物，水汽遇见油会导致油的乳化，油乳化后会导致真空泵的抽气速率及真空度降低，由于油旋片真空泵运行时内部温度高，含浸液的挥发物在高温下与油凝结在一起，如不频繁的换油，泵内部的油会越来越黏稠，长时间会结块，泵会出现卡死、烧电机的故障，所以油式真空泵在该工艺应用故障率高、运行成本高。
液环式真空泵用水做工作液，内部无接触及摩擦，用水来进行密封，吸入水汽对真空泵没有任何影响，吸入含浸液的挥发物会漂浮在水上，随真空泵的水一起排出，定期换水就可以了，运行成本低，基本上没有任何易损件。
含浸工艺中液环式真空泵的主要特点：
在高真空压下，仍可保持良好的抽气速度。
低噪音、低振动。
无油设计。
更容易维护、***。
电容工艺对真空度有不同的要求，液环真空泵、泵组都可以满足要求。
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