






电子是用来产生电子的,主要有两种,一共三种。
一种是利用场发射效应产生电子,称为场发射电子。这种电子很昂贵,天津生物样品电镜分析,超过十万美元,并且需要不到10-10托的超高真空。 但它的使用寿命至少为1000小时,并且不需要电磁镜头系统。
另一种是利用热发射效应产生电子。有钨和六硼化镧两种。 钨的寿命在30到100小时之间,价格便宜,但图像不如其他两种明亮,通常用作廉价或标准的SEM配置。六硼化镧的寿命介于场致发射电子和钨之间。200-1000小时,价格是钨的十倍左右。图像比钨亮5-10倍,需要比钨略高。真空度一般在10-7torr以上;然而,它比钨更容易过饱和和热激发。
扫描电子显微镜基本的功能仍然是放大镜的功能,它实现了人眼和光学显微镜无法观察到的样品更详细的特征。 广泛应用于材料科学研究、生物学、工业制造等领域。
扫描电子显微镜的制造是基于电子和物质的相互作用。 当一束高能入射电子轰击材料表面时,激发区会产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子以及可见光、紫外光和红外光。 该区域产生的电磁辐射。 同时,还可以产生电子-空穴对、晶格振动(声子)和电子振荡(等离子体)。 原则上,可以利用电子与物质的相互作用来获得被测样品本身的各种物理化学性质,如形貌、成分、晶体结构、电子结构、内部电场或磁场等。
扫描电子显微镜具有景深大、分辨率高、成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外,扫描电镜具有可测样品种类丰富,几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。
扫描电子显微镜SEM分析原理:用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成象。谱图的表示方法:背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等。
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