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其他,磁悬浮分子泵,有些泵有油泵,有油分离器,有油路上的单向阀,有消雾器,福州分子泵,有入口过滤器(防油蒸汽返流用),有入口灰尘过滤器等部件或附件,也要进行检查。油泵失效将使泵的润滑和密封失效,消雾器失效,有可能使排气压力升高,功率加大,损坏电机,入口过滤失效可使进气阻力增大,抽速下降,抽气效率下降。
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如果温度降不下来,注意设备机械上的油窗,是不是依然使用的是有机玻璃,如果是,磁悬浮分子泵,立即更换。水环真空泵发热现象是在实际运行操作过程中,一种非常***的一个现象,因此大家在操作设备的时候,要提前掌握一些将会发生故障的应对方法,然后做好预案。
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水环真空机组以罗茨泵为主泵,以水环泵为前级泵串联而成的。水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利,因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差(机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高),在一定压力下抽气速率低的缺点,而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率的优点。
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