旋片真空机组是以泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成的。旋片真空机组选用的旋片泵作为前级泵，因此它克服了旋片泵使用时在一定压力下抽气速率低的缺点，而且同时保留了罗茨泵能迅速工作，福州真空泵，有比较大抽气速率等优点。因为该机组的结构紧凑、抽速大、占地面积小，所以可以代替多台机械真空泵，因此旋片泵机组广泛地用于在真空冶炼、电力电容器、变压器真空热处理、真空镀膜设备的预抽、电真空半导体等行业中抽除密闭容器中含氧不高的、对金属无腐蚀性的、与泵油不会起化学反应的也不会含有颗粒尘埃的气体。
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接下来是拆侧盖内的零件，这些零件是用于确定螺杆固定端端面间隙，因此在拆卸时须作好标记，以便于重装时原样复位，避免重新调整固定端间隙。使用的M12顶杆将侧盖从泵体上卸下，再从侧盖内将干式密封、轴承等卸下，要注意是否存在调节垫圈，在垫圈上作好标记。
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螺杆真空泵拆卸的详细步骤1 将泵上的所有附属物移除。2 打开泵体下方的排泄阀，排出冷却水。3 打开前端盖上的排油塞将油排出。4 松开电机连接螺母，拆下电机。5 松开联轴器上的螺钉，取下甩油板、和联轴器。
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