送回风管道质量控制
送回风系统管道的密封，车间净化工程，是为防止不洁净的空气进入风管，阻止了风管内受污染的空气渗透出去，从而可满足洁净室内的洁净度和延长高1效过滤器使用时间。施工中应***控制管道加工、管道施工和设备的安装质量。
管道加工时应着重做好风管设备的清洁和管道加工过程中的密封措施。管道加工时应采用镀锌钢板制作，满足平整、光滑、坚固及耐侵蚀的要求;消声器内 充填的消声材料应不产尘、不掉渣(纤维)、不吸潮、无污染，不得用松散材料，纤维材料应为毡式材料，外覆可以防止纤维穿透的包材。不应采用泡沫塑料和离心 玻璃棉.
相对湿度越高，粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。净化工程的等级划分比较的严格，一般按照7个等级进行的划分，分别是1级，10级，100级，1000级，10000级，100000，1000000级，净化安全要求是根据等级来实施的，净化工程等级数越小，级别是越高的，其含尘量越少，排名是靠前的。净化工程的一般施工程序：粉尘作业，无尘作业后，不允许交叉作业。 否则会影响项目的质量。 也就是说，在完成所有粉尘产生操作之后，可以进行无尘操作。
无尘净化工程通风除尘方式
根据***环境保，无尘净化工程通风除尘系统中送风和排风部分均需装置消音设备，且送风与排风部分的所有风管均需装置软管接头，以达到减小震动、减少噪音和改善劳动条件的目的。另外，由通风机排出的***与粉尘物质要经过废气净化回收器后，再排至空气中，以减少大气的污染。水平送风管设置在车间内墙一侧上方，（高度一般5米左右，具体根据车间空间状况确定）局部排风装置设在车间内靠外墙一侧下方，高度根据工作台面情况确定。
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