






在目前微观形貌的分析研究中,天津金属样品电镜测试,随着半导体器件等高新技术的发展,往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解,因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片,不仅要有一台性能优越的高分辨力扫描电子显微镜,而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验,即要考虑以下几种因素:
(1)入射电子束的束流密度要足够大,而且稳定→电子源的发射问题。
(2)入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称(圆),涉及电子透镜的设计、加工和装配水平,以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。
建立大型分析测试时,扫描电镜可以起到承上启下的作用,早期能满足大部分的测试需要,后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估,有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是,他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单,样品制备流程非常简单,获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户,只要投入一点时间进行培训,就可以访问更高的的程序。总的来说,台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多,而且系统本身更加稳定。而且设备耐使,不容易坏,潜在的维修成本也很低。
景深是指焦点前后的一个距离范围,该范围内所有物点所成的图像符合分辨率要求,可以成清晰的图像;也即,景深是可以被看清的距离范围。
扫描电子显微镜的景深比透射电子显微镜大10倍,比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大,所得扫描电子像富有立体感。电子束的景深取决于临界分辨本领d0和电子束入射半角αc。其中,临界分辨本领与放大倍数有关,因人眼的分辨本领约为0.2 mm, 放大后,要使人感觉物像清晰,要使电子束的分辨率高于临界分辨率d0 :电子束的入射角可通过改变光阑尺寸和工作距离来调整,用小尺寸的光阑和大的工作距离可获得小的入射电子角。
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