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可由密封件老化，安装不当，损坏失效，表面不平整、有杂质、粗糙和铸件疏松等引起。如果停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。自制橡胶垫时，一定要用耐油橡胶，要按照原设计形状，真空泵厂家，密封面太大时压不紧会漏油。
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卸下主、从动转子上的活塞环套甲、轴套，并作好标记。轻轻地从泵体内推出主、从动转子，并将它们用尼龙绳悬挂起来。将水套盲板从泵体上卸下（用于清洗泵体水隔层，可不拆）。使用的清洗剂清洗部件并按照工厂制定的范围更换旧的或者已经损坏的部件。每次组装建议更换新的轴承，福建真空泵，密封，垫圈和O型圈。
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注意不要损伤连接处的包装。在所有的连接和吻合处标注缝线。卸下的部件需要防尘处理。特别主要保护好密封零部件，齿轮以及轴承。
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