1959年，Richard P Feynman(1965年诺贝尔物理奖获得者)就提出了微型机械的设想。1962年一个硅微型压力传感器问世，胶州精密机械加工，其后开发出尺寸为50～500μm的齿轮、齿轮泵、气动涡轮及联接件等微机械。1965年，斯坦福大学研制出硅脑电极探针，后来又在扫描隧道显微镜、微型传感器方面取得成功。1987年美国加州大学伯克利分校研制出转子直径为60～12μm的利用硅微型静电机，显示出利用硅微加工工艺制造小可动结构并与集成电路兼容以制造微小系统的潜力。
精密和超精密加工时现代机械加工制造技术的一个重要组成部分，是衡量一个***高科技制造业水平高低的重要指标之一。20世纪60年代以来，随着计算机及信息技术的发展，精密机械加工图片，对制造技术提出了更高的要求，不仅要求获得极高的尺寸、形位精度，cnc精密机械加工价格，而且要求获得极高的表面质量。正是在这样的市场需求下，超精密加工技术得到了迅速的发展，各种工艺、新方法不断涌现。CNC技术、材料技术、激光技术以及CAD技术等现代的科技成果，是现代***机械加工技术的重要组成部分。
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加工精度达到 1微米的机械加工方法。精密机械加工是在严格控制的环境条件下，精密机械加工厂，使用精密机床和精密量具和量仪来实现的。加工精度达到和超过 0.1微米称超精密机械加工。
精密机械加工的工艺效果是：
①零件的几何形状和相互位置精度达到微米或角秒级；
②零件的界限或特征尺寸公差在微米以下;
③零件表面微观不平度(表面不平度平均高度差)小于0.1 微米;
④互配件能满足配合力的要求；
⑤部分零件还能满足准确的力学或其他物理特性要求。
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