






由电子发射的能量为 5 ~ 35keV 的电子,以其交 叉斑作为电子源,枣庄电镜分析,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度 和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,电镜分析价格,产生二次电子发射(以及其它物 理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集 转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的 显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。
高分辨力扫描电子显微镜的工作经验
在目前微观形貌的分析研究中,电镜分析费用,随着半导体器件等高新技术的发展,往往要求对表面的细微结构能够更深入地观察和了解,因此发展高分辨力的电镜一直是生产厂商和用户们所追求的共同目标。要获得一张清晰、高分辨的照片,不仅要有一台性能优越的高分辨力扫描电子显微镜,而且还取决于试样自身的特征和操作人员的工作经验,电镜分析哪家好,即要考虑以下几种因素:
(1)入射电子束的束流密度要足够大,而且稳定→电子源的发射问题。
(2)入射电子束的束斑是否足够细、足够旋转对称(圆),涉及电子透镜的设计、加工和装配水平,以及镜筒受污染的影响程度等→探针的形成问题。
台式扫描电镜由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统及电源系统组成。
电子光学系统:电子光学系统由电子、电磁透镜、扫描线圈和样品室等部件组成。其作用是用来获得扫描电子束,作为使样品产生各种物理信号的激发源。
电子:其作用是利用阴极与阳极灯丝间的高压产生高能量的电子束。
电磁透镜:其作用是把电子的束斑逐渐聚焦缩小,使原来直径约50um的束斑缩小成一个只有数nm的细小束斑。
扫描线圈:其作用使电子束进入末级透镜强磁场区前就发生偏转。
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