






从电子中发射出高能电子束撞击样品表面,与原子的内层电子发生非弹性散射作用时,使原子发生电离,从而使原子失去一个内层电子而变成离子,三维重构哪家好,并在该电子层对应位置产生一个空穴,江门三维重构,原子为了***到稳定态,较外层的电子就会填补到这个空穴,在填补过程中同时会产生具有特征能量的X射线,三维重构费用,探测器接收到这些特征X射线后,经过分析处理转换得到谱图和分析数据输出。
当以背散射电子为调制信号时,由于背散射电子能量比较高,穿透能力强,可从样品中较深的区域逸出(约为有效作用深度的30%左右)。在此深度范围,入射电子已有了相当宽的侧向扩展,所以背散射电子像分辨率要比二次电子像低,一般在500~2000nm左右。
背散射电子的激发深度随加速电压的升高而增大
背散射电子的激发深度随加速电压的升高而增大,对于中等原子序数的元素来说,背散射电子的产生深度主要来自于距试样表面约lum深度内的信息,轻元素和超轻元素试样的背散射电子的产生深度可达试样表面以下2~3um。在一定的加速电压下,三维重构中心,由于背散射电子的产额基本上随试样原子序数的而增加。所以,利用背散射电子作为成像信号不仅能分析试样形貌特征(纯形貌像),而且还可用于显示试样化学组分的组成特征(原子序数衬度像),在一定的范围内能粗略进行定性分析试样表面的化学组分分布状况。
二次电子的能量低,受局部电场的影响变化大,如图a所示的颗粒在电子束的照射下因充了负电子而发白,在这发白的颗粒周围感应了正电荷,而感应了正电荷的区域导致二次电子的发射量减小,使颗粒周围明显变暗。由于二次电子像分辨力高、阴影效应不明显、景深深、立体感强,所以它是扫描电镜中主要的成像方式。它特别适用于观察和分析起伏较大的粗糙面,如金属、陶瓷和塑料等材料的断口,所以在材料学科中扫描电镜得到了广泛应用。
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