此外，高科技洁净室厂房内使用许多的性与性气体，例如SiH4、H2、PH3等，更增加厂房内的潜在***，若无适当的对策与措施，因此，为了降低火灾发生时人员的***与财物的损失，必须对建筑物进行烟流控制，这一点新加坡已强制规定执行，而在邻近的日本、大陆或香港也有类似烟流控制***，万级洁净室，其目的都是在降低火灾发生时，高温烟流对员工及设备污染的伤害。
洁净室工程设计与施工关键性问题1．空调机房宜在洁净室侧面空调机房的位置，其位置宜在洁净室的侧面，这不但可以节能，也有利于风道的布置，并使气流***更加合理，同时，可以节省工程费用。2．多机冷水机组更灵活冷水机组如果要求较大的制冷量，不宜选用单机，宜采用多机制，电机宜用变频调速，以降低起动功率。多机可以灵活使用，不至于出现“大马拉小车”的浪费能源现象。
洁净室FFU控制方式洁净室FFU控制方式之计算机控制：此系统与前面两种方式相比，计算机控制方式***的功能，不但可以采用集散型控制方式，能够很方便的实现FFU的集中监测和控制，而且还可以方便的实现FFU的单台、多台及分区控制。另外可以设置控制系统预留通信接口，可与上位机或网络进行通讯，从而实现远程通信和管理功能。
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