松开螺母，取下端盖甲。 松开齿轮胀圈螺钉，将主、从动齿轮卸下。接着先拆进气口侧的零部件。松开螺钉，将端盖乙盖板卸下。松开螺栓，将油箱盖卸下。 使用M12的顶杆将端盖乙从泵体上卸下。将圆柱滚子轴承、干式密封与活塞环套乙从端盖乙中卸下。接下来再拆排气口侧的零部件。松开轴承压盖的螺钉，卸下轴承压盖。松开圆螺母上紧定螺钉，卸下从、从动轴上的圆螺母，注意紧定螺孔内的铜垫。
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极限压力升高会使高真空时段的抽气效率下降，也会使极限全压力升高。可以参照上述介绍来判断、检查、处理抽气效率下降和极限全压力升高的故障。噪声。泵的结构设计，电机与泵轴承的噪声，旋片等运动件是否滑畅、进油量太多、风扇、传动件产生的噪声、进气量大，开气镇运转、挡油板等泵内零件松动，安装不平等引起振动，都会影响泵的噪声。
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接下来是拆侧盖内的零件，这些零件是用于确定螺杆固定端端面间隙，磁悬浮分子泵，因此在拆卸时须作好标记，磁悬浮分子泵，以便于重装时原样复位，避免重新调整固定端间隙。使用的M12顶杆将侧盖从泵体上卸下，再从侧盖内将干式密封、轴承等卸下，要注意是否存在调节垫圈，在垫圈上作好标记。
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