扫描电镜能谱一体机是光学表征仪器产品的全明星，电镜分析机构，用户通过一台设备就可以实现形貌表征及元素分析功能。研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。
扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用，既减轻了用户单次设备采购成本，电镜分析价格，又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。
电磁透镜有聚光镜及物镜两种
通常，电磁透镜有聚光镜及物镜两种：聚光镜是电子向样品移动时遇到的个透镜。该透镜在电子束锥再次打开前使电子束会聚，并在撞击扫描样品之前由物镜再次会聚。聚光镜决定了电子束的大小(这决定了分辨率高低)，而物镜的主要作用是将电子束聚焦到样品上。它的透镜系统还包含扫描线圈，用来对样品表面进行栅网式扫描。很多时候，会将光阑与透镜相结合来控制电子束的大小。
首先在扫描电镜窗口下找到感兴趣的样品区域，其次在能谱软件窗口对样品区域进行点、线或面扫描，即可获取样品区域的元素种类、分布及含量百分比。
背散射电子像具有下列基本性质和特点：
（1）其成像信息主要来自于返回试样表面的原一次电子，大部分电子的能量基本接近于原入射电子的能量。
（2）由于入射电子在试样中产生背散射电子的区域比二次电子的区域深、范围大，电镜分析费用，故背散射电子像的几何分辨力远不如二次电子像，对于中等或以上元素的分辨力与二次像相比约差2.5倍以上。
（3）由于背散射电子的能量较大，汕头电镜分析，故其出射方向基本不受试样表面弱电场的影响，而且类似于点光源的形式以直线方式沿其径向轨迹散射开来。因此，只有出射方向正对着探测器的背散射电子才可以进入探测器中。当背散射探测器的有效面积所覆盖的立体角越大时，其接收效率越高，信噪比也越好，图像分辨力越能得到改善。
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