二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面（试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子），二次电子能量在0~50eV之间，平均能量约30eV，所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径，还没有被多次反射和明显扩散，因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大，三维重构中心，所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像，背散射像的分辨力优于吸收电流像，吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下，扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力，若没有特别说明，都是泛指二次电子像的分辨力。
空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关
背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中，非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽，广州三维重构，从几十eV到几十千eV。从数量上看，弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。
在扫描电镜中检测的试样，其准备工作十分简便。对导电体试样，可以不做任何预处理，只要其大小形状适合试样室，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，常用的是金或碳。
台式扫描电镜主机集成高压及控制系统，体积小巧，便于移动，三维重构价格，可出差携带，安装无需特殊环境，只需找一张桌子，供电就可工作。扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，天津三维重构，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。
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