






单个用户可以根据常用功能设置相应的图标,营造快捷的操作环境。用户登录时,即可加载已注册过的设定。画面上并列显示二次电子成像和背散射电子成像这两种实时图像。可同时观察样品的形貌和组成分布。适合于多种测量功能。可在观察图像上直接进行测量。也可将测量结果贴至SEM图像,保存在文件中。
分析型扫描电子显微镜配备两台监视器,一台用于SEM图像观察和另一台用于元素分析。一只通用鼠标即可同时控制两台监视器。大尺寸画面使操作更加简便。
扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能
扫描电镜能谱一体机标配光学导航功能,点击感兴趣的区域,在数秒内既可以得到样品微观形貌信息,点击切换至能谱软件界面可快速得到该区域的表面元素分布信息。扫描电镜能谱软件可以使用户实现多点分析,FIB电镜制样中心,灵活检测样品的元素组分。同时,该软件还支持元素分析线扫、面扫功能。优化精简的操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
扫描电镜是用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。试样为块状或粉末颗 粒,FIB电镜制样哪家好,成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。其中二次电子是主要的成像信号。
影响扫描电镜的分辨本领的主要因素有:
A. 入射电子束束斑直径:为扫描电镜分辨本领的极限。一般,热阴极电子的很小束斑直径可缩小到6nm,济南FIB电镜制样,场发射电子可使束斑直径小于3nm。
B. 入射电子束在样品中的扩展效应:扩散程度取决于入射束电子能量和样品原子序数的高低。入射束能量越高,样品原子序数越小,则电子束作用体积越大,产生信号的区域随电子束的扩散而变大,从而降低了分辨率。
C. 成像方式及所用的调制信号:当以二次电子为调制信号时,由于其能量低(小于50 eV),平均自由程短(10~100 nm左右),只有在表层50~100 nm的深度范围内的二次电子才能逸出样品表面, 发生散射次数很有限,基本未向侧向扩展,因此,二次电子像分辨率约等于束斑直径。
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