扫描电镜测试中心-枣庄扫描电镜测试-天津9d实验室

扫描电子显微镜的功能

　　1、扫描电子显微镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像(二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸)

　　2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，扫描电镜测试费用，微区化学成分分析

　　1)用x射线能谱仪或波谱(EDS or WDS)采集特征X射线信号，生成与样品形貌相对应的，扫描电镜测试价格，元素面分布图或者进行化学成分定性定量分析，相鉴定。

　　2)利用背散射电子(BSE)基于平均原子序数(一般和相对密度相关)反差，枣庄扫描电镜测试，生成化学成分相的分布图像；

　　3)利用阴极荧光，基于某些痕量元素(如过渡金属元素，稀土元素等)受电子束激发的光强反差，生成的痕量元素分布图像。

在半导体器件(IC)研究中的特殊应用：

　　1)利用电子束感生电流EBIC进行成像，可以用来进行集成电路中pn结的***和损伤研究

　　2)利用样品电流成像，结果可显示电路中金属层的开、短路，因此电阻衬度像经常用来检查金属布线层、多晶连线层、金属到硅的测试图形和薄膜电阻的导电形式。

　　3)利用二次电子电位反差像，反映了样品表面的电位，从它上面可以看出样品表面各处电位的高低及分布情况，特别是对于器件的隐开路或隐短路部位的确定尤为方便。

　　4、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构(原子在晶体中的排列方式)，晶体取向分布分析，基于晶体结构的相鉴定。

背散射电子的空间角度分布与入射电子和试样表面的入射角有关。高角度（>30°）的背散射像适宜于显示原子序数衬度;低角度(<30°)的背散射像适宜于显示试样表面的几何形貌衬度。在扫描电镜中，非弹性散射的背散射电子的能量分布范围很宽，从几十eV到几十千eV。从数量上看，弹性背散射电子所占的份额远比非弹性背散射电子多。

在扫描电镜中检测的试样，其准备工作十分简便。对导电体试样，可以不做任何预处理，只要其大小形状适合试样室，扫描电镜测试中心，即可置入仪器试样室检测。对非导电体试样，则在置入试样室前，要在真空镀膜机中对其待测表面喷镀一薄层导电物质，常用的是金或碳。