




检漏仪中检漏系统的关键部件均为进口,气密性测试设备,性能。秀长的体积,优越的性能,适用于众多行业。运用了和逆扩散原理,采用了分子泵、180°非均匀磁场和全自动控制技术,实现了自动氦峰扫描、自动调零、自动校准和自动量程切换,具有检测速度快、检测灵敏度高、抗干扰能力强等特点。检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。
质谱室里的灯丝发射出来的电子,在室内来回地振荡,并与室内气体和经漏孔进入室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子,这些氦离子在加速电场作用下进入磁场,由于洛伦兹力作用产生偏转,形成圆弧形轨道,改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术,由于检漏效率,简便易操作,仪器反应灵敏,精度高,不易受其他气体的干扰,在电阻炉检漏中得到了广泛应用。一般检漏都采用氦气(He)作为示漏气体,但也有用氢气(H)作为示漏气体的,考虑到它的化学性质及***性,在应用中较少使用,所以实际大部分检漏使用的都是氦气。
对于容积较小的部件,如波纹管、各种充气接头和气管焊接件等,采用氦罩法被检工件抽空,检漏仪调到漏率(10-11Pa。m3/s),然后对氦罩冲氦。为了避免事故的发生,化工厂商在投建厂房时就应该对化学管道和设备做气密检漏并且后期生产中也需要定期检漏。检漏仪在管道检测方面有两种检测方法,负压法和正压法,一般化工管道采用的是负压法。负压法就是常说的抽真空,这是检漏仪常用的检漏方法。
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