爱德华真空泵e2m30-惠阳爱德华真空泵-明胜机电(查看)

真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？

看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，爱德华真空泵e2m40，不能正常工作的原因还是有所区别的，惠阳爱德华真空泵，不能一概而论。

真空泵抽气量不足的故障原因：

①泵的转速低于规定转速。

②叶轮与端盖的间隙过大。

③填料室密封漏气。

④吸入管道漏气。

⑤供水不组。

⑥水环温度过高。

概述

Edwa*** 是在一些严苛的应用环境中首先使用干真空泵的厂商。我们拥有 20 余年的经验，已在安装了 100000 多台 Drystar 泵。

我们的 GV Drystar 泵能够处理大量粉尘和水蒸汽，在保持高可重复性、和高可靠性的同时不会带来制程污染的风险。

Drystar 泵可以与 Edwa*** EH 系列机械增压泵结合以提高泵送性能。

应用

真空感应熔炼 (VIM)

精密熔模铸造 (PIC)

真空电弧精炼 (VAR)

真空镀膜

电子束焊接

真空烧结

钢脱气

硬化

等离子和 LP 氮化

LP 渗碳

真空铜焊

粘辊

玻璃涂层

滤光片和镜头

真空喷镀

硬盘和光盘母版制作

变压器、电容器和电缆

皮革

辛香料和芳香剂

核工业

真空腔修整

太阳能电池生产

高度可靠的干燥机械装置，已经过 60，爱德华真空泵e2m30，000 多套产品实际验证。

技术数据　GV80GV160GV250GV400GV600构造3 爪 + 1 杆2 爪 + 1 杆3 爪式3 爪式3 爪 + 1 杆排量（工作容积）91.5 m3h-1200 m3h-1341 m3h-1540 m3h-1793 m3h-1抽速 *80 m3h-1180 m3h-1250 m3h-1380 m3h-1560 m3h-1极限压力<0.03 mbar<0.1 mbar<0.4 mbar<0.4 mbar<0.05 mbar10 mbar/7.5 Torr 时的功耗3 kW4.2kW6 kW7 kW7 kW电机额定功率4 kW7.5 kW11 kW18 kW22.5 Kw20 oC 时的冷却水流量1 l min-11 l min-14 l min-14 l min-15.5 l min-1封口吹扫（干燥空气）

半导体加工我们继续革新技术解决方案，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，爱德华真空泵e2m275，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。