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扫描电镜能谱一体机内部集成了用于分析样品元素组分的能谱仪。对于很多既需要观察表面形貌又要检测表面元素组分分布的用户非常适用,既减轻了用户单次设备采购成本,又具有体积小、集成化高、故障率低、易于使用维护等诸多优点。

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