






建立大型分析测试时,扫描电镜可以起到承上启下的作用,早期能满足大部分的测试需要,后期可以从外部使用者对于更高的性能需求和成本进行基于经验的评估,三维重构中心,有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
有多少人将使用该系统?用户是否受过培训?如果不是,他们愿意投入多少时间进行培训?台式扫描电镜的操作非常简单,样品制备流程非常简单,获取图像可以像点击几个按钮一样简单。具有特定需求的用户,只要投入一点时间进行培训,就可以访问更高的的程序。总的来说,台式扫描电镜对操作员培训的要求要低得多,而且系统本身更加稳定。而且设备耐使,不容易坏,潜在的维修成本也很低。
桌面型扫描电镜的使用特点
桌面型扫描电镜的扫描速度快,三维重构价格,信号采集带宽10M,可以在视频模式下流畅实时的显示样品。只需鼠标就可完成所有操作,不需对中光阑等复杂步骤,聚焦消像散后可直接拍图。
桌面型扫描电镜的几个使用特点:
1、体型小巧,无需准备***实验室;
2、结构设计简洁,人性化设计,易于维护及***;
3、高真空(10-3Pa)及15kV宽加速电压(1kV步进),可满足不同样品的测试需求;
4、不断优化的软件功能,让不同经验的使用人员都能轻松上手操作。
二次电子主要是来自于距试样表面1~10nm之间深度的亚表面(试样表面0~1nm之间深度发出的电子主要为俄歇电子),二次电子能量在0~50eV之间,平均能量约30eV,所以这些二次电子能很好地显示出试样表面的微观形貌。由于入射电子仅经过几纳米的路径,还没有被多次反射和明显扩散,因此在入射电子照射的作用区内产生的二次电子区域与入射束的束斑直径差别不大,所以在同一台电镜中二次电子像的分辨能力。二次像的分辨力优于背散射像,背散射像的分辨力优于吸收电流像,吸收电流像的分辨力优于阴极荧光像。目前场发射和钨阴极电镜的二次电子像的分辨力都能分别优于1.0nm和3.0nm。一般情况下,惠州三维重构,扫描电镜的指标中所提及的图像分辨力,若没有特别说明,都是泛指二次电子像的分辨力。
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