






刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。
“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。
“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。
扩展资料:
光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动
1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,淄博电腐蚀蚀刻机技术,对准精度可想而知不高了;
2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行***调谐;
3.自动: 指的是 从基板的上载,***时长和循环都是通过程序控制,铝板电腐蚀蚀刻机技术,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。
在连续的金属蚀刻机刻蚀速率更一致、 更均匀的蚀刻的。要满足这一要求,必须确保该蚀刻工艺铭刻在好的状态。这就需要再生和补偿,容易控制蚀刻刻蚀速率的选择。选择可以提供恒定的操作条件和解决方案参数自动控制技术和设备。
通过控制溶解的铜含量,PH 值溶液浓度、 温度、 溶液均匀性的流量 (或摆动喷管和喷嘴的喷雾系统) 来做到这一点。所以薄中的多层复合材料层合板,很容易浪费造成的伤口上墨辊和运输车轮上蚀刻的图层。
因此, 金属蚀刻机的板装置能保证平稳,工作可靠的薄层压板。很多设备制造商附加到金属蚀刻机齿轮或轮子,防止此类现象的发生。更好的方法是使用附加摆动的聚四氟乙烯涂层信封作为薄层压板支持传输。薄铜箔 (例如,1/2 或 1/4 盎司) 不能刮刻蚀,或将其划伤。站在像蚀刻 1 盎司的薄铜箔铝箔在机械缺陷,有时更猛烈的震动都有可能划伤铜箔。上一篇:金属腐蚀机与环境的关系


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