。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，风淋室厂家，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高，净化风淋室，粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产湿度范围为35—45%。
1、自动化控制，单人单吹风淋室系统采用PLC智能化的控制手段，控制面板上LED显示屏可正确显示风淋的运行状态、双门的互锁状态、风淋周期进度和开门状态。并设有光电感应器，单向通道风淋室，从非洁净区进入，关门后红外线感应到人就吹淋，吹淋后入门锁闭，只能从出门走出风淋室；
2、单人单吹风淋室主板软键触按式时间继电器，LED显示及设置吹淋时间，范围在10-99s可调，可根据风淋室外部环境的差异调节吹淋时间；
3、模块式结构，单人单吹风淋室箱体采用模块化设计方案；
4、、高密封，风淋室安装，采用进口电子元器件，风淋室，运行性能 ，***的减噪静音装置系统及采用EVA密封材料，密闭性能高。
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