真空检漏的具体方法检漏步骤为：检查机械泵与罗茨泵连接的波纹管法兰，***导管气密测试，很容易由于波纹管法兰胶圈没压好或波纹管焊口损坏造成漏气，由于机械泵运转的振动较大的，法兰螺栓容易松动，波纹管焊口长时间受振动也会导致裂纹造成漏气。检查压差阀或放气阀进气口及机械泵、罗茨泵、扩散泵的外壳是否漏气。放气阀的电源被忘接或阀的磁感应线圈被烧坏导致阀无法正常关闭也会导致漏气。
喷氦法、吸氦法是检漏仪在电阻炉检漏中常用的两种方法。检漏仪应用不锈钢保温器皿：真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。氦气检漏仪可同时检测多工件，并能按照需求自动判断出具体的有漏工件；定制的的密封接头，减少误判。检漏时喷在漏孔处停留的时间应为仪器响应时间的3倍，该时间再加上氦气在真空系统中的传递时间，即为两次喷氦的较小间隔时间，当然真空系统越庞大，该间隔时间也越长。
真空法检漏有何优点：真空法的优点是检测灵敏度高，可以***漏孔，能实现大容器或复杂结构产品的检漏。真空法检漏缺点：真空法的缺点是只能实现一个大气压差的漏率检测，不能真实反映带压被检产品的真实泄漏状态。用途：真空法的检测主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。
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