测试程序：
1）确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。
2）允许使用pvc布做环绕高校过滤器的遮断二次气流的干扰。
3）过滤器上游释放PAO气溶胶，微粒浓度是大约每公升空气含有20到50微克。
4）过滤器的全部面积均必须以光度计做扫描泄漏测试。扫描点乃位于过滤器表面下方25mm，而扫描速度则为50mm/sec。
5）所有穿透过滤器安装框架的测试孔、导线孔等，均采用激光粒子计数器进行扫描测试，扫描点在其表面20~100mm间，扫描速度50mm/sec。
6）在过滤器下游采样，检查浓度。若是下游浓度超过设定值（0.01%）则判定为泄漏。
7）如果过滤器表面出现泄漏，更换过滤器。框架出现泄漏，过滤器的安装边框需进行密封处理。直至过滤器泄漏合格。
测试仪器：
气溶胶光度计：ATI-2H一台，采样量1cfm
气溶胶发生器：ATI-4B一台、PAO溶剂4升
空气压缩机：PUMA-2P一台
合格标准：过滤器包括安装边框扫描所有***率不超过0.01%。
无尘车间FFU|芯片制造环境与工艺良品率洁净厂房
在关键技术和“卡脖子”领域，中国正在全力打造集成电路创新高地和集成电路产业快速发展，在芯片制造领域，中芯国际、华虹集团年销售额在国内位居前两位，14纳米和28纳米***工艺已分别实现了量产。洁净室行业某FFU供应商为国内芯片行业企业做配套服务，提供末端洁净设备。
洁净室环境直接影响芯片制程工艺良品率。芯片的制造要用到数百个步骤，整个过程中温度、空气洁净度受到非常严格的控制，在这种环境的无尘室，洁净厂房设计，通过各种机械设备，将晶圆片不断的流转进行加工，经过严格的制程和严格的无尘环境下完成封装芯片。众所周知，空气中本就充满尘埃，细小到肉眼不可见，洁净厂房设计施工，但是这些尘埃如落在生产芯片的环境中，对于每一个晶体管的体积它就是很大颗粒了，在制程中尘埃或者污染物落到晶圆上，会造成芯片的短路及烧损等其他不良。
因此保证芯片的高良率，就要保护它的高生产环境和洁净度!
常用形式：在车间顶棚上均布紫外线杀菌灯，利用其产生的紫外线辐射进行物体表面和空气的消毒灭菌。
优点：
操作简单，价格便宜，洁净厂房装修，管理方便，机动灵活，可以根据生产需要随时进行个别房间的消毒灭菌，不添加、不产生任何******物质；。
缺点：
1．紫外线灯射出的紫外线强度，随着使用时间的增加而减弱，因而消毒灭菌能力不断减弱。
2．紫外线穿透力弱，容易被生产设备阻挡，出现死角，济宁洁净厂房，影响杀菌效果。
3．紫外线杀菌受相对湿度的影响较大，当洁净室内相对湿度>60%时，其灭菌效果明显减弱，相对湿度>80%时，不宜使用。
4．紫外线辐射能量低，仅能杀灭直接照射到的微生物，因此，必须使消毒部位充分暴露于紫外线下。
5．紫外线照射物体表面距离不宜>1.50m
6. 工作中有人时不可使用
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