主要配置：检漏仪分子泵。机械泵或者干泵。定制检漏仪电磁阀。内置标准漏口。放大器。质谱模块。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。检漏仪主要技术指标：小可检漏率：5×10-12Pa·m3/s。漏率显围：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s。
寻求一种合适的检漏方法，对汽轮机真空系统进行行之有效的检漏和堵漏工作，防水漏水检测仪器，提高机组的真空严密性及真空已成为改善机组运行状况、节能降耗以及机组安全运行的一项重要工作。检漏技术是一种应用于国内外对真空容器检漏的技术，检漏技术的高灵敏度和无损性早已成功地应用于航天、电子、制冷等领域。应用检漏技术对火电厂汽轮机真空系统进行检漏的方法，近几年已在电力生产中逐渐推广应用。
测试时，将定量的氦气喷吹在怀疑可能泄漏的部位，通过观察检漏仪上的漏率显示来确定该部位是否存在泄漏及泄漏程度的大小。由于真空系统比较庞杂，影响真空的因素多，对此我们在试验前，应先根据真空严密性的试验情况、相关系统及设备的运行情况、机组的检修情况等进行了解分析，初步判断真空泄漏可能发生的设备或系统管道的位置。然后，在试验过程中先对***怀疑泄漏部位进行检查，再对其他部位按照分系统、分段、逐个设备部件进行排查。
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