






扫描电子显微镜的应用
扫描电子显微镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、***、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。
显微镜在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、***、成分分析。各种材料的形貌***观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。
其工作原理为:在高真空的镜筒中,由电子产生的电子束经电子会聚透镜聚焦成细束后,在样品表面逐点进行扫描轰击,产生一系列电子信息(二次电子、背反射电子、透射电子、吸收电子等),由探测器将各种电子信号接收后经电子放大器放大后输入由显像管栅极控制的显像管。
扫描电镜的特点
1.束流稳定,可与电子探针媲
扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内,由气动控制其进出,用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反馈控制系统,以便对电子束流进行控制。其电子束流的稳定度优于0.2%/h,已达到电子探针的水平。此外,束流稳定,非常有利于能谱分析,特别是波谱仪的分析工作(如果将来购买的话)。
2.扫描电镜:-----五种观察模式的电子光学系统
扫描电镜采用***的电子光学系统,在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内地位。扫描电镜的每个镜筒均***供电所以可提供五种观察模式:分辨率模式、大景深模式、广角模式、分析模式,鱼眼模式。
台式扫描电镜的性能与基本结构
台式扫描电镜的特点:
制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等,对于导电材料,能够直接放入样品室进行分析,天津不导电样品电镜测试,对于导电性差或者绝缘的样品那么就需要喷镀导电层。
台式扫描电镜的基本结构:
从结构上来看,台式扫描电镜主要是由七大系统组合而成的,也就是电子光学系统、信号探测处理与显示系统、图像记录系统、样品室、真空系统、冷却循环水系统以及电源供给系统。
此中重要的三个系统是电子光学系统、信号探测处理还有显示系统以及真空系统
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