根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作点，在其工作压力范围内，应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体量。因此，真空室内的工作压力一定要在主泵适合的抽速压力范围之内。根据真空室的容积大小和要求的抽气时间来选主泵。真空室体积大小对系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，磁悬浮分子泵，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。
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真空是由真空泵产生的，真空泵的类型很多，为了获得低压力、大抽速，可以用多级真空泵串联和并联成真空系统。但是所有的真空系统都包含一台初级泵或称之为排大气的真空泵。根据抽气方法的不同，初级真空获得设备分类如下：
●机械地截获气体，并将吸入的气体从吸气口输送到排气口，例如变容真空泵。
●通过一个射流来传递动量，并将被抽气体带走，例如水蒸汽喷射泵和大气喷射器。
●在展开的表面，利用在低温下的多孔介质吸收气体，例如吸附泵。
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金属导线和电气、电子部件组成的导电回路称为电路。在电路输入端加上电源使输入端产生电势差，电路连通时即可工作。 [8] 电路可以实现电能的传输、分配和转换，还可以实现信号的传输与处理。 [7] 电流的存在可以通过一些仪器测试出来，如电压表或电流表偏转、灯泡发光等。按照流过的电流性质，一般把它分为两种：直流电通过的电路称为“直流电路”，交流电通过的电路称为“交流电路”。电路通常由电源、负载和中间环节三部分组成
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