扫描电子显微镜对样品的要求：
首先一点，不会被电子束分解；
其次第二点，在电子束扫描下热稳定性要好；
第三点，可以提供导电还有导热通道；
第四点，大小和厚度要适合使用于样品台的安装
第五点，观察面应该清洁并且无污染物；
第六点，进行微区成分分析的表面应该平整；
第七点，磁性试样要预先去磁，是为了避免观察的时候电子束受到磁场的影响。
扫描电镜的应用首先，扫描电镜应用是不是经常性的并且需求明确的？假如是这样，台式扫描电镜可以提供所需要的信息，为什么要花费更多？对于未来需求超过台式扫描电镜性能的担忧，应该依据潜在需求的确定性以及时机，还有对更高要求使用的外部资源可用性来进行评估。 就算以后需求超过台式扫描电镜能力，台式扫描电镜的初始***也能够继续提供回报，由于这种系统可以使用于补充以后的落地式扫描电镜系统，比方说筛选样品或者接着执行日常分析，落地式扫描电镜使用于要求非常高的应用。 建立大型分析测试中心的时候，扫描电镜能够起到承上启下的功用，前期可以满足大多数的测试需求，后面能够从外部应用者对于更性能需求以及成本进行基于经验的评估，有针对性地完善整个扫描电镜测试系统。
扫描电镜之电子探针显微分析
显微结构分析
电子探针是利用0.5μm－1μm的高能电子束激发所分析的试样，通过电子与试样的相互作用产生的特征X 射线、二次电子、吸收电子、 背散射电子及阴极荧光等信息来分析试样的微区内(μm范围内)成份、形貌和化学结合状态等特征。电子探针成分分析的空间分辨率（微区成分分析所能分析的区域）是几个立方μm范围， 微区分析是它的一个重要特点之一， 它能将微区化学成份与显微结构对应起来，是一种显微结构的分析。而一般化学分析、 荧光分析及光谱分析等，天津不导电样品电镜分析，是分析试样较大范围内的平均化学组成，也无法与显微结构相对应， 不能对材料显微结构与材料性能关系进行研究。
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