在微电子行业，六氟化硫常用作清洁气体和蚀刻气体，在光导纤维的生产过程中，也常用六氟化硫作为单膜光纤隔离层掺杂剂。能显著提高PTFE耐高温绝缘性能。但是，在电气设备中，有时是会产生毒物的。所以，要牢记哪些情况会产生毒物。下面我们就列举出来一些作为参考。
1、电器设备内的六氟化硫在高温电弧发生作用时而产生的某些***产物。
2、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与电极(Cu-W合金)及金属材料(AL、Cu)反应而生成某些***产物。
3、电器设备内的高纯六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些***产物。
4、产品不纯，出厂时含高毒性的低氟化硫、等有***体。
5、电器设备内的六氟化硫气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些***产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。
其性能也强调了抗噪声能力。为什么这么说呢，因为这个装置采用了全屏蔽模式。也就是说，可以屏蔽外部的磁场干扰和屏蔽，自身具有的磁场干扰可以保证测量数据整体的正确性。因为一个仪器的抗干扰能力不强，整个测量过程就没有任何使用性，也不能保证气体设备的正常工作。
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