检漏法是根据质谱分析的原理，以氦作示踪气体，对各种需密封的容器的漏隙进行快速***和定量检测的理想方法。由于氦是惰性气体，对大气无污染，使用比较安全；而且氦的原子量小、粘度小，容易渗透过任何可能存在的漏隙，因此检测灵敏度高、速度快、适用范围广；另外氦在大气中含量少(仅万分之五)，离子质量与其它气体离子质量相差很大，不易受干扰，错判几率小。所以，与其它诸多检漏方法比，检漏具有的优越性。
将检漏仪与试件用真空橡皮管连接，在试件上用密闭的容器罩住，在容器里充入氦气，检漏仪开始检漏，如果试件有漏点，仪器就可以显示其漏率；在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、、飞机等这些都要用到真空检漏技术。检漏方法在真空检漏技术领域里已经得到广泛的应用，这种方法的优点是：检漏灵敏度高，可以检漏到10-11Pam3/s数量级，仪器响应快，。
氦气检漏仪触摸屏实时显示监测数据和运行参数，监控一目了然。电气控制系统的连锁保护及声光报警功能，确保了系统的操作安全及可靠运行。据日本有关文章介绍，日本汽车制造业，已有30多种零部件在使用检漏仪检漏，气密性检查设备，解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
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