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CN201210187164.0公开了三硅咪唑的制备工艺，具体步骤为：(1)反应：首先在搅拌釜内投入三一氯，然后在搅拌下分批添加咪唑，要求在3小时内添加完成；反应在-200~0mm柱下进行，温度控制在60℃以下。
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六二硅氮烷的用途
可用于硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理，其作用机理是以硅氮键与硅羟基缩合。在半导体工业中用作光致刻蚀剂的粘结助剂。
六二硅胺烷液体可以在空气中直接称量吗
六二硅胺烷液体不可以在空气中直接称量.因为六二硅氮烷 与空气接触会迅速被水解生成醇和六二硅醚。
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三氯（trimethyl chlorosilane）为无色透明液体，***基氯***厂，有刺激臭味，在空气中暴露，易和潮气反应产生***。硅-卤键化合物。在工业上，已形成规模生产能力，一般采用氯***和硅粉在催化剂作用下直接合成，经分馏得到纯品。
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