沥林爱德华真空泵-爱德华真空泵GV80-明胜机电(诚信商家)

爱德华真空泵轴承的检修标准

   爱德华真空泵相对其他单级选片式真空泵具有更高的精度，同时结构相对来讲比较复杂，所以我们在爱德华真空泵维修时需要制作精度较高的工具来对泵浦进行拆卸、安装，下面就其轴承的检修与装配跟大家交流下。

   拆卸轴承应使用工具，安装时不得用锤直接敲击轴承，需敲击时必须垫以软金属。

   装配轴承时，应先检查轴承质量、配合尺寸偏差等是否符合要求。

   轴承内圈端面应与轴肩靠紧

   轴承采用加热安装时，加热可采用油浴，油温不超过100-120度，轴承油浴时间10-15Min，爱德华真空泵E2M80，严禁用火焰直接加热轴承。

真空泵抽气量不足的原因及解决方法是什么？

看看进气口和排气口是否接错了，三相泵的话看看是不是电机反转了。如果真空泵电机还是好的。而且如果是不同工作方式的泵，不能正常工作的原因还是有所区别的，不能一概而论。

真空泵抽气量不足的故障原因：

①泵的转速低于规定转速。

②叶轮与端盖的间隙过大。

③填料室密封漏气。

④吸入管道漏气。

⑤供水不组。

⑥水环温度过高。

半导体加工我们继续革新技术解决方案，爱德华 真空泵E2M40，这些解决方案将会提升制程正常运转时间、产量、吞吐量与安全认证水平，沥林爱德华真空泵，同时通过减轻不利于环境的排放、延长产品使用寿命并降低持续服务成本，爱德华真空泵GV80，努力协调平衡往往相互冲突的更低拥有成本要求。

所有居于地位的制程工具 OEM，以及每一家主要半导体工厂都采用了我们的系统，因为它们能够满足成熟制程与发展中制程的具体要求。提供干式真空泵、涡轮分子泵与使用点减排系统等各种系统，用来优化从轻负荷制程到超重负荷制程的各项应用的性能表现。 平版印刷平版印刷（即晶圆的图案形成）是半导体 制程中的一个关键步骤。虽然传统甚至浸润式平版印刷 一般不需要真空环境，但远紫外 (EUV) 平版印刷和电子束平版印刷却需要真空 泵。Edward可以让您有效应对这两种应用。

EUV 平版印刷泵送解决方案

多重图案形成技术有其存在的价值， 但以后可能需要使用 EUV 平版印刷，因为轻型 EUV 系统 提供极短的波长。要让您的系统具有 性能，真空环境是关键。真空系统的 清洁性尤其重要，它有助于延长维修间隔。我们 与 EUV 平版印刷 OEM 和光源 OEM 合作开发了 精密真空系统，可为您进行的大型***提供 可靠性。

电子束平版印刷解决方案

电子束平版印刷在硅晶片的图案形成中 具有重要作用。低振动的清洁真空对于确保系统的精密性 和长正常运行时间至关重要。

我们的产品解决方案

您可能需要使用涡轮分子泵 (TMP) 以便 在您的制程工具上实现超高真空。我们的 STP 系列 TMP 采用 完全磁悬浮转子以降低舱室污染风险并延长 维修间隔。目前开发的产品通过将控制器集成到 泵本身中来降低总成本和占地面积，不再需要 外部控制器和控制器与泵之间的沉重控制 电缆。