






(1)FeCl3浓度值对蚀刻速率的危害:FeCl3蚀刻液中随FeCl3浓度值的提高,蚀刻速率加速。当所含FeCl3超出某一浓度值时,因为蚀刻机水溶液粘度提升,浸蚀速率反倒有一定的降低。五金蚀刻设备厂家针对选用抗蚀印料或抗蚀湿膜的铜零件,浓度值可调节在35°波美度上下;选用液态光致蚀剂(如骨胶,乳液等)的铜零件。浓度值操纵在42°波美度上下。一般状况下,蚀刻机箱内药液浓度值在350g/L-600g/L为宜。
(2)***的加上量对蚀刻机的浸蚀速率危害:在腐蚀机中添加***,一则可以抑止FeCl3和CuCl2的水解反应;二则可提升蚀刻速率。尤其是当蚀刻液中铜成分大路37.4g/L后,盐酸的作用更为显著。但这应依据不一样的抗蚀层原材料挑选适宜的酸度,假如抗蚀层挑选骨胶,果胶,乳液等光致抗蚀层,则不能用太高的酸度,不然,抗蚀层便于被毁坏。针对光感应环氧树脂抗蚀剂及油墨印刷抗蚀层,则可以挑选较高的酸度。
(3)温度对蚀刻速率的危害:在FeCl3蚀刻加工工艺中,随温度的上升,蚀刻机中产品工件的浸蚀速率显著加速。例如在50℃时,全新升级蚀刻液对铜的蚀刻速率可做到10μm/min。但在现实制造中,大功率电腐蚀蚀刻机设备,全是选用常温下蚀刻方式。FeCl3对铜的蚀刻是一个化学反应,伴随着蚀刻的开展,蚀刻机***水温度会慢慢上升,蚀刻速率加速。伴随着FeCl3的耗费,蚀刻速率也会降低。与此同时这一提温全过程也较为迟缓,因此在全部蚀刻全过程中蚀刻速率转变并不大。
碱性蚀刻液一般适用于多层印制板的外层电路图形制作,这种蚀刻方法在线路板制作中应用非常广泛,特别是图形电镀,这是较好的蚀刻方法之一。同时碱性蚀刻速度快,侧蚀刻小,溶铜量大,智能电腐蚀蚀刻机设备,蚀刻液可以再生连续使用。
碱性CuCl2蚀刻液主要是由CuCl2和NH3-H2O组成,在CuCl2溶液中加入NH3-H2O会发生如下络合反应:CuCl2+4NH3-H2O=[Cu(NH3)4]Cl2+4H2O,在蚀刻机药箱内,铜被[Cu(NH3)4]2+络离子氧化成Cu+。其氧化反应如下:[Cu(NH3)4]Cl2+Cu=2[Cu(NH3)2]Cl。生成的[Cu(NH3)2]+为Cu+的络离子,不具有氧化能力,在有过量NH3-H2O和Cl-存在的前提下,能很快被空气中的氧气所氧化,生产具有蚀刻能力的[Cu(NH3)4]2+。其络离子再生反应如下:
2[Cu(NH3)2]Cl+2NH4Cl+2NH3-H2O+1/2O2=2[Cu(NH3)4]Cl2+2H2O。
从上面的化学方程式可以看出,在蚀刻机工作过程中,小型电腐蚀蚀刻机设备,每腐蚀1mol铜需要消耗2mol NH3-H2O和2mol NH4Cl。因此在腐蚀机蚀刻过程中,随着铜的溶解,应不断补充NH3-H2O和NH4Cl。


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