电气监控与操作，主要有电源，螺杆真空泵，远距离操作和开关阀等的控制。当泵出现故障时，泵能自动停车，两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器，以提供所需的电流电压，以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器，有按钮控制，可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀，干式螺杆真空泵，第二、三、四级的净化气体的通断阀，惰性气体的主按钮操作。
爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，
我国现行规定使用压缩式真空计来测量油封机械泵的极限压力。泵循环油量也影响泵的极限压力。随着油量的增多，驻马店真空泵，密封效果越好，真空泵价格，泵的极限压力与油量的关系发生变化，终达到油的饱和蒸气压Po。而实际上泵油中含有大量的空气和水分，泵油进入泵腔后，吸收在泵油中的空气和水分又释放出来，泵极限压力与油量的关系向上发展。一般泵油应保持在油位上，使泵的循环油量保持一定。
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