国内外对于多级罗茨干泵的研究还停留在静态泄漏量的计算和实验上, 如俄罗斯A. Burmistrov 等利用角系数法建立了分子流态下罗茨泵复杂形状的泄漏通道流导系数的模型, 着重在泄漏量计算中考虑了***空间内的气体返流。法国学者L. C.Valdes 等推导了通过非恒定矩形截面下过渡流的流导计算, 并结合Knudsen Dong 法则研究了非运转状态下通过气冷式罗茨干泵间隙的静态泄漏理论, 并通过静态实验进行了验证。国内一些学者则主要针对干泵型线和泄漏展开了理论和实验研究。







LEYBOLD OPTICS CCS 系列(50 至 160 对/8 小时)视客户要求而定,可使用 LEYBOLD OPTICS CCS 系列镀膜机生产一或若干层(减反射层、防晒或镜面层以及滤光片)。其出色的生产能力得益于短抽真空时间以及准确的工序监控,这些尤为该平台的亮点。各种类型的 LEYBOLD OPTICS CCS 镀膜机证明了小尺寸和高生产力并非互为独占的。LEYBOLD OPTTIC CCS 系列包括生产解决方案,适用于中等产量的标准和离子辅助镀膜工艺。模块化设计,实现可持续发展的解决方案
电子容量、低温制冷系统的实施或腔室内疏水性镀膜功能相关的升级选件可在日后轻松添加至 LEYBOLD OPTICS CCS 的基本配置。因此,莱宝真空泵,客户可随着其业务增长而选择扩建其系统。适用于广泛应用的灵活系统
LEYBOLD OPTICS CCS 系列提供适用于每种需求选配组件阵列。有两种不同的镜片支架,自动翻转镜片支架和适用于不同镜片直径的多种标准圆片,莱宝真空泵怎样***,使其适用于广泛的应用。
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LEYBOLD OPTICS CCS 平台的圆柱形镀膜腔室可促进轻松维护和保护屏障的快速拆卸清洗,这又可提供增加设备运行时间的优势。
关于真空泵漏气检测方法
真空泵在使用过程中如发现有漏气情况首先应当辨别是:真空泵漏还是管道漏。
1、检测真空泵的方法:将真空泵与其管道分离,用真空计直接测量真空泵进气口,如果泵真空度达到使用标准就排除了泵漏气的可能;
2、检测管道的方法:把管道或管道某一段取下,将其中一头接在不漏气的泵上,另一头用真空计测量,通过这个方法检测能够分清漏气点。
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