




精密/超精密运动经济型丝杆模组的发展历史
2018年,中兴事件的爆发加速了大陆地区半导体设备国产化进程,尤其是后道工艺制程设备。6/8/12英寸硅基晶圆AOI检测、4/6英寸碳化硅晶圆AOI检测、芯片分选机等半导体封装、晶圆wafer隐性切割、检测设备逐渐进入国内有名的半导体Fab厂,并得以批量应用。由于半导体设备对精度等级的要求较高,因此该细分市场带动了精密运动经济型丝杆模组的精度等级的多方面提升,半导体检测设备所需的***精度小于5微米,使得半导体设备中精密***系统几乎全部采用了直线电机驱动的精密运动经济型丝杆模组,预计今年半导体设备对经济型丝杆模组及运动台的需求量约为0.75亿,并将以每年30%的增幅递增。
浅析静音型经济型丝杆模组有哪些优点
(1)、静音经济型丝杆模组互换性较强,组装比较容易
只有做到导轨或滑块或者是整副滚动导轨副,模组就能再次获取较高精度。
(2)、静音经济型丝杆模组负载能力较好,通用性较强
静音直线模组具备良好的通用性,用处很多,且相关性能也很好,所以能承受不同方向的力矩。
(3)、静音经济型丝杆模组效率强,***精度准确
同步带工作的时候,不会造成滑动,能够确保传动准确;重复***精度高,适合被用作换向的运作或 者是频繁启动部件。
(4)、静音经济型丝杆模组能够适应高速运动场合
传动平稳,低噪音,具有缓冲减震功能,可实现高速直线运动,能够显著提高机床的工作效率。
经济型丝杆模组+伺服电机的控制方式
经济型丝杆模组对运动中的动态性能有比较高的要求时,需要实时对电机进行调整。如果控制器本身的运算速度很慢(比如,或低端运动控制器),就用位置方式控制。经济型丝杆模组中如果控制器运算速度比较快,可以用速度方式,把位置环从驱动器移到控制器上,减少驱动器的工作量,提升效率;如果有更好的控制器,还可以用转矩方式控制,把速度环也从驱动器上移开,这一般只是豪华用控制器才能这么做。
一般说驱动器控制的好坏,有个比较直观的比较方式,叫响应带宽。当转矩控制或速度控制时,通过脉冲发生器给它一个方波信号,使经济型丝杆模组中电机不断的正转、反转,不断的调高频率,示波器上显示的是个扫频信号,当包络线的顶点到达较高值的70.7%时,表示已经失步,此时频率的高低,就能说明控制的好坏了,一般电流环能做到1000HZ以上,而速度环只能做到几十赫兹。