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粗糙和轮廓测量仪器像散测定法

其测量原理物体表面上被照射着的光B通过物镜成像于位置Qx当光点与物镜距离(光轴方向)变到A或者C时，则成像位置也会分别移至Px或Sx若从处于中间并垂直于光轴的面上来观察其光束，就可发现光束的直径也随之变化也就是可以检测光束直径的变化量来判断成像的位置在物镜后面插入一块只能在Y轴方向聚束的柱面透镜Y轴方面的成像将往前移至Py，形状测量仪器***代理，Qy，形状测量仪器代理，Sy以后光束便发散由于X轴，Y轴方向上成像位置的不同，形状测量仪器，光束成椭圆状，如图4所示，故光点远离物镜时，形状测量仪器价格，则为长轴在Y轴上的椭圆;相反，靠近物镜时，则为长轴在X轴上的椭圆，用象限光电探测器(四等分光电二极管)作传感器，光束经光电转换后再放大和计算，可获得与被测表面微小变位量相对应的输出信号，这种方法分辨力可达到纳米级别，但测量范围较小。

形状测量仪器测量技术

形状测量仪是测量各种机械零件素线形状和截面轮廓形状的精密设备。

1、测量范围：轴φ1-180mm，套不大于φ200mm，长度不大于120mm。2、示值误差：1%± 0.1u。3、测量精度：不大于0.5u。4、气浮工作台移动精度：动态不大于0.2u/100mm。5、电源：220v，50Hz，0.5kw。6、气源压力：0.5-0.8Mpa。

粗糙和轮廓测量仪器介绍

表面粗糙度是机械加工中描述表面微观形貌常用的参数，它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到长足进步，特别是70年代中后期，随着微电子计算机应用的逐步普及和现代光学技术、激光应用技术的发展，使粗糙度测量技术在机械加工、光学加工、电子加工等精密加工行业中的地位显得愈发重要。表面粗糙度的测量方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类：在接触式测量中主要有比较法、印模法、触针法等;非接触测量方式中常用的有光切法、散斑法的像散测定法、光外差法、AFM 、飞光学传感器法等。